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    孙 恺, 辛 煜, 黄晓江, 袁强华, 宁兆元

    Characteristics of electron energy distribution function of capacitively coupled plasma excited by 60MHz RF source

    Sun Kai, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Yuan Qiang-Hua, Ning Zhao-Yuan
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    出版历程
    • 收稿日期:2008-01-14
    • 修回日期:2008-02-27
    • 刊出日期:2008-05-05

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