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结合环栅肖特基势垒金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)结构, 通过求解圆柱坐标系下的二维泊松方程得到了表面势分布, 并据此建立了适用于低漏电压下的环栅肖特基势垒NMOSFET阈值电压模型.根据计算结果, 分析了漏电压、沟道半径和沟道长度对阈值电压和漏致势垒降低的影响, 对环栅肖特基势垒MOSFET器件以及电路设计具有一定的参考价值.

关键词:

Based on surrounding-gate schottky barrier metal-oxide semiconductor field transistor (MOSFET) structure, the distribution of surface potential is obtained by solving two-dimensional Poisson equation in cylindrical coordinates, and the threshold voltage model of surrounding-gate schottky barrier NMOSFET which is applicable to the low voltage of drain is built. According to the calculation results, the dependences of threshold voltage and drain-induced barrier-lowering on voltage of drain, channel radius and channel length are studied in detail, which can provide some reference for the design of surrounding-gate schottky barrier MOSFET device and circuit.

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