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摘要

作者在研究金刚石表面金属化机理中发现,该物理过程是用化学气相沉积(CVD)方法在强碳化物形成元素上生长金刚石薄膜的逆物理过程。推断在强碳化物形成元素上,诸如WSi,Ta等,生长金刚石薄膜,其界面有相应的碳化物,诸如WC,SiC,TaC等出现,继而生长的金刚石薄膜实质是在相应的碳化物背底上择优取向成核生长的。从而揭示在强碳化物形成元素上生长金刚石薄膜的物理机制是:W(Si,Ta)等→WC(SiC,TaC)等→金刚石薄膜。
Abstract
It has been discovered that the physical process of diamond surface metallization is the converse physical process of synthesized diamond film produced by plasma CVD when the substrate is strong carbide forming element and synthesitic temperatures range from 700℃ to 1000℃. We predicted that the physical process of synthesized diamond film should have a structure such as W-WC-diamond film or Si-SiC-diamond film, etc. under this condition.
作者及机构信息
高巧君¹,

林增栋²
Authors and contacts
GAO QIAO-JUN¹,

LIN ZENG-DONG²
参考文献

施引文献

[1]	马孟宇, 蔚翠, 何泽召, 郭建超, 刘庆彬, 冯志红.氢终端金刚石薄膜生长及其表面结构. 必威体育下载 , 2024, 73(8): 088101.doi:10.7498/aps.73.20240053
[2]	李俊鹏, 任泽阳, 张金风, 王晗雪, 马源辰, 费一帆, 黄思源, 丁森川, 张进成, 郝跃.多晶金刚石薄膜硅空位色心形成机理及调控. 必威体育下载 , 2023, 72(3): 038102.doi:10.7498/aps.72.20221437
[3]	艾立强, 张相雄, 陈民, 熊大曦.类金刚石薄膜在硅基底上的沉积及其热导率. 必威体育下载 , 2016, 65(9): 096501.doi:10.7498/aps.65.096501
[4]	张传国, 杨勇, 郝汀, 张铭.金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2015, 64(1): 018102.doi:10.7498/aps.64.018102
[5]	林涛, 陈治明, 李佳, 李连碧, 李青民, 蒲红斌.6H碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究. 必威体育下载 , 2008, 57(9): 6007-6012.doi:10.7498/aps.57.6007
[6]	马天宝, 胡元中, 王慧.基于原子运动模型的类金刚石薄膜生长机理研究. 必威体育下载 , 2007, 56(1): 480-486.doi:10.7498/aps.56.480
[7]	朱宏喜, 毛卫民, 冯惠平, 吕反修, I. I. Vlasov, V. G. Ralchenko, A. V. Khomich.CVD金刚石薄膜孪晶形成的原子机理分析. 必威体育下载 , 2007, 56(7): 4049-4055.doi:10.7498/aps.56.4049
[8]	王静, 刘贵昌, 汲大鹏, 徐军, 邓新禄.铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究. 必威体育下载 , 2006, 55(7): 3748-3755.doi:10.7498/aps.55.3748
[9]	胡晓君, 李荣斌, 沈荷生, 何贤昶, 邓文, 罗里熊.掺杂金刚石薄膜的缺陷研究. 必威体育下载 , 2004, 53(6): 2014-2018.doi:10.7498/aps.53.2014
[10]	王剑屏, 郝跃, 彭军, 朱作云, 张永华.蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的研究. 必威体育下载 , 2002, 51(8): 1793-1797.doi:10.7498/aps.51.1793
[11]	梅显秀, 徐军, 马腾才.利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究. 必威体育下载 , 2002, 51(8): 1875-1880.doi:10.7498/aps.51.1875
[12]	邱东江, 石成儒, 吴惠桢.石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜. 必威体育下载 , 2002, 51(8): 1870-1874.doi:10.7498/aps.51.1870
[13]	李灿华, 廖源, 常超, 王冠中, 方容川.氮气氛下(100)织构金刚石薄膜的成核与生长研究. 必威体育下载 , 2000, 49(9): 1756-1763.doi:10.7498/aps.49.1756
[14]	何贤昶, 沈荷生, 张志明, 万永中, 沈挺.在硅(001)上预沉积β-SiC定向层后金刚石薄膜的定向生长. 必威体育下载 , 2000, 49(3): 532-537.doi:10.7498/aps.49.532
[15]	康健, 肖长永, 熊艳云, 冯克安, 林彰达.Si衬底上异质外延金刚石的初始阶段原子H的作用及其界面结构. 必威体育下载 , 1999, 48(11): 2104-2109.doi:10.7498/aps.48.2104
[16]	韩祀瑾, 陈金松, 方容川, 尚乃贵, 邵庆益, 乐德芬, 廖源, 叶祉渊, 易波, 崔景彪.金刚石薄膜在多晶铜和磷脱氧铜基片上的生长. 必威体育下载 , 1998, 47(4): 686-691.doi:10.7498/aps.47.686
[17]	顾长志, 金曾孙, 吕宪义, 邹广田, 张纪法, 方容川.高导热金刚石薄膜的研究. 必威体育下载 , 1997, 46(10): 1984-1989.doi:10.7498/aps.46.1984
[18]	莫要武, 夏义本, 黄晓琴, 居建华, 王鸿.氧化铝基片上沉积金刚石薄膜的Raman光谱分析. 必威体育下载 , 1997, 46(3): 618-624.doi:10.7498/aps.46.618
[19]	张文军, 韩立, 胡博, 涨仿清, 陈光华.织构金刚石薄膜的成核与生长. 必威体育下载 , 1996, 45(1): 88-93.doi:10.7498/aps.45.88
[20]	潘必才, 夏上达, 方容川.人工金刚石薄膜生长过程中有关反应活性的研究. 必威体育下载 , 1995, 44(5): 763-771.doi:10.7498/aps.44.763

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